★松鑫无氧烘箱特别适用于精密电子元件、芯片、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，形成高温、低氧无氧、洁净环境，特别适合半导体制造、COB封装、IC封装、石英玻璃、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行 业的无氧化干燥烘烤工艺要求。

★洁净无氧烘箱主要参数

1.氧含量：≤ 20/50/100ppm 

2.温度范围：RT-200℃定点可调（300℃/400℃/500℃/600℃可选）

3.控温波度：±0.5℃

4.升温速率：RT-100℃ 约15min

 5.降温速率：自然降温或辅助降温

 6.降温方式：风冷式/水冷式

 7.运行方式：定值式/可程式

8.氮气控制：N2减压阀+双流量节氮系统，无氧、低氧环境下自动运行控制

★氧含量控制系统

1.洁净无氧烘箱通过氮气排氧控制系统，采用双路氮气导入回路，各向箱内提供100L/min + 240L/min的氮气，双路配套进口电磁阀，双流量自动切换，在内部达到无氧环境后自动切换至低流量供气，大大节省氮气消耗量，也可根据工艺制程要求，自行设定，满足多种工艺需求。

2. 氧含量排氧时间≤30 min，带耐高温氧含量控制仪，氧化锆氧含量传感器，耐高温自吸泵一套，可实时检测氧含量并显示实际数值至屏幕，配备氧含量超标报警功能。

★结构与材料：

1.内胆材料:洁净T1.2mmSUS304或316不锈钢/镜面不锈材质制作

2.保温材料：采用120K级高密度保温材质，防火阻燃材料，局部加强安装铰链和拉手

3.配置**门控电磁锁一体化设计，运行中自动锁控防止吴操作，结束自动开启

★电器系统：

1.控制系统：智能PLC触摸屏控制系统，温度、氧含量自动控制，并具有PID自整定，曲线显示、查看历史数据等功能

2.超温保护：内置单独限温保护仪，超过温度设置上限自动报警并切断加热。

3.测温装置：采用进口BA温度传感器，稳定可靠  

4.定时装置：内置自动定时器，可预设烘烤时间 

5.报警装置：三色灯各功能显示、运行、待机、停止等，结束后自动切断加热并声光报警提示

6.电源电压：标配380V/50Hz

7.**装置：漏电，短路，过载保护；鼓风电机过载缺相保护

8.固态输出：SSR无触点继电器模块，灵敏度高

★选装配件： 1.可视窗 2.多段温控 3.无纸记录仪 4.温度记录仪 5.强排抽风 6.加装MES系统 7.千层架或推车 8.洁净过滤器9、测试孔。

★整机保护系统

1.采用三重超温保护系统，确保箱体在运行过程中的整体性能。

2.控制线路内部电器保护系统：

3.超温防止器；

4.相序保护；

5.马达过电流保护；

6.控制线路保险丝；

7.电热过电流保护；

8.无熔丝开关。

★洁净无氧烘箱-SXH-WN型号规格表